键合机劈刀滑移问题的分析

摘要：

引线键合是半导体器件最主要的一种互连方法.介绍了引线键合机键合头的几种基本结构,并对比分析了不同结构对键合工艺产生的影响.

关键词：引线键合、引线键合机、键合头、滑移、偏角

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.96(半导体技术)

在线出版日期：2009-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43