微波等离子体刻蚀技术研究

摘要：

以Coria1200M型干法刻蚀机的三种刻蚀模式为基础,分析了微波等离子体刻蚀技术的优缺点,并讨论了下电极结构对干法刻蚀形貌、一致性和重复性的影响.利用微波等离子体刻蚀技术与反应离子刻蚀技术相结合,实现了SiO2各向同性刻蚀,成功应用于质量控制和失效分析等环节.

关键词：高密度等离子体微波干法刻蚀失效分析

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2009-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：13-18