Nikon光刻机对准系统概述及模型分析

摘要：

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一.阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式:LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点.并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用.

关键词：对准系统、步进光刻机、对准方式、对准模型

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2009-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：8-12,18