以创新推动本土光刻设备的发展——访上海微高精密机械工程有限公司总经理程建瑞先生

摘要：

@@ 在集成电路IC装备领域,先进的光刻设备和技术长期被外资厂商占据.在国家振兴制造装备业规划的宏观形式下,上海微高通过自身努力,以创新推动本土光刻设备的发展.当前上海微高承担着国家”863”重点攻关项目,是国家光刻机研发的主要力量;上海微高正通过不断的研发和创新投入,努力使其打造成中国的光刻机专家.

机标关键词：创新推动、光刻设备、上海、高精密、机械工程、有限公司、国家、光刻机、自身努力、制造装备、集成电路、攻关项目、创新投入、专家、中国、形式、外资、技术、规划、厂商

所属期刊栏目：38

分类号：F75;TN4

在线出版日期：2009-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：49-50