XTJ-200旋转涂胶机的研制

摘要：

XTJ-200旋转涂胶机是电镀法芯片凸点制造过程中的关键设备之一.XTJ-200旋转涂胶机主要是利用离心力的作用使滴在基片上的溶胶凝胶或其他胶液均匀涂在基片上,主要由机架、旋转系统、自动滴胶系统、旋涂盖、热板、加热盖及控制系统等组成.

关键词：旋转、设备、涂胶、基片

所属期刊栏目：38

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2009-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：42-44