激光划切机中工件对准的图像定位方法

摘要：

针对激光划切机中对LTCC工件定位对准的高精度性要求,对于如何根据工件边角信息进行定位,提出了一种基于对比度增强、Canny双阈值边缘提取和Hough变换的定位方法.将这种图像检测方法应用于激光划切机,工件定位精度小于2μm,满足系统的要求.

关键词：定位、边缘提取、Hough变换、激光划切机

所属期刊栏目：38

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2009-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-42,49