微细间距引线键合中的可靠性提高工艺

摘要：

在引线键合期间,工艺可靠性在整个的器件组装成本中扮演着一个重要角色.可靠性可以认为是引线键合机在规定条件和限定时间之内完成其符合要求的所需功能的或然率.由于键合故障、键合机部件装配零件问题、封装类型和不完全的工艺窗口导致了频繁的键合中断,可以导致除干扰工厂运行计划和产品质量之外的成品率降低和引线键合工艺中的停工.经过2年时间的研究.我们识别了在毛细管性能特性与键合故障之间的密切联系.提出了提高工艺可靠性的几点改进.

关键词：引线键合、可靠性、键合故障、薄形四侧引脚扁平封装、球栅阵列封装测试、产率

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.96(半导体技术)

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14