多线切割晶体表面质量研究

摘要：

多线切割机切割过程中受到砂浆、温度、线速度以及进给速度等方面的影响.对晶体的表面质量有一定的影响.从多方面进行分析研究,并提出改进工艺方案.

关键词：多线切割、晶体、表面质量

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：电子信息产业发展基金

在线出版日期：2009-02-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-22,47