FIB-SEM-Ar″三束″显微镜

摘要：

FIB-SEM-Ar"三束"显微镜在FIB/SEM装置的平台上附加了降低样品损伤的低能Ar离子枪,首次实现了通过一台仪器完成高质量的透射电子显微镜TEM的样品制备.简化了样品整个加工的过程,同时大大提高了加工精度和工作效率.对"三束"显微镜做了介绍.

关键词：三束、聚焦离子束、投射电子显微镜、Ar离子束

所属期刊栏目：37

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-55