多晶硅太阳电池 PECVD 氮化硅钝化工艺的研究

摘要：

介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜.将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果.分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理.

关键词：PECVD、钝化、氮化硅、等离子体增强化学气相淀积、太阳电池、多晶硅

所属期刊栏目：37

分类号：TK573;TN806.9(特殊热能及其机械)

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-48