浸没式阵列激光扫描直写光刻

摘要：

介绍一种以显微镜结构为基础的浸没式阵列激光扫描直写光刻系统的光路结构、有效焦深、自动调焦及曝光能量控制的原理和方法.实验系统的有效数值孔径(ENA)为1.83,使用的激光波长为355 mm时,在实验室条件下得到的最细线条宽度为65 mm.

关键词：阵列激光扫描、浸没式镜头、直写光刻

所属期刊栏目：37

分类号：NT305.7

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-9