太阳能电池刻蚀机的控制系统研究

摘要：

太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统,提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析,各子系统用树形结构进行设计,终端子系统采用时序图方法进行设计,综合了组合逻辑和时序逻辑控制.此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机,提高了系统的处理速度和可靠性.

关键词：树形结构、逻辑控制、系统、组合逻辑、时序逻辑、时序图

分类号：TP332.3(计算技术、计算机技术)

资助基金：中国科学院微电子研究所所长基金07SF074002

在线出版日期：2008-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-22,31