Cymer准分子激光器的工作原理及应用

摘要：

论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块.在应用方面,论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用,最后论述了激光气体的安全使用,防止对工作人员造成伤害.

关键词：准分子激光器、二聚物、投影光刻机

所属期刊栏目：37

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：60-62