决策表在机械手路径规划中的应用

摘要：

机械手路径规划是掩模传输系统的一个重要组成部分.掩模传输系统的主要作用是存贮掩模版,对掩模版进行传输、精确定位以及交接版.机械手路径规划在掩模传输系统中,用于对机械手、版库等移动组件的移动路径进行规划,防止发生碰撞,保证人员、设备以及掩模版的安全.机械手的移动路径采用决策表法进行规划.

关键词：路径规划、机械手、版库、掩模传输系统、决策表

所属期刊栏目：37

分类号：TP241(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45