基于数值模拟的MOCVD反应器设计与优化

摘要：

介绍了垂直喷淋式MOCVD反应器的最新计算机模拟仿真结果,并根据仿真结果对反应器的结构和参数进行了优化设计,应用在自行研制的用于GaN和四元化合物材料生长的设备中.

关键词：MOCVD、反应器、数值仿真、衬底托盘、利用率

所属期刊栏目：37

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：37-41,51