LTCC低温共烧陶瓷热切刀体控制探讨

摘要：

对LTCC(低温共烧陶瓷)的热切割工艺过程进行论述,探讨了热切刀体和工作台的结构设计,分析了刀体和工作台的运动方式以及热切刀体的速度控制特点,提出了刀体加减速控制方法,成功实现了对LTCC热切刀体的高精度和高速度控制,实验证明,通过对刀体的运动进行曲线加减速控制,显著提高了切割效率、稳定性和一致性.

关键词：LTCC、S曲线、热切

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.5(半导体技术)

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36