多线切割中切割线振动作用研究

摘要：

在多线切割中砂浆有着极其重要的作用,不同的使用条件会直接影响切割晶片的几何参数.讨论了切割线在运动中的振动效果以及对切割产生的影响.通过试验及对高速摄像机拍摄照片的分析,得出不同砂浆携带方式极其在工作中的振动会直接影响到切割出晶片几何参数的结论.

关键词：多线切割、线振动、砂浆作用

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42