MEMS器件及其设备

摘要：

MEMS (Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC.2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006～2011年年复合平均增长率为13%.2011年MEMS系统级市场将达720亿美元.MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS.MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域.MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点.MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用.

关键词：MEMS器件、传感器MEMS、MEMS市场、MEMS设备

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.93(半导体技术)

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-18,38