微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用

摘要：

微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用.详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制造等内容,并在此基础上对微悬臂梁传感器在生物化学领域的应用作了介绍.

关键词：微悬臂梁、传感器、读出技术

所属期刊栏目：37

分类号：TN40(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家"863"计划资助项目2005AA404210

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14