砂轮划片机z向工作台机械结构关键技术的研究

摘要：

通过滚动直线导轨应用理论和应用技术的研究及滚珠丝杠副应用技术的分析,针对砂轮划片机z向工作台运动特点,设计了z向工作台机械结构,并分析了系统的刚性误差,通过检测和实际使用验证了设计结果.

关键词：滚动直线导轨、滚珠丝杠副、重复精度

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39