集成电路制造中的三束技术

摘要：

集成电路制造工艺技术种类繁多.包括光刻、刻蚀、氧化、扩散、溅射、封装等.作为代表性的先进工艺技术是电子束、离子束和光子束加工技术,俗称三束技术.对三束技术做了介绍.

关键词：集成电路、电子束、离子束、光子束

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37