微水导激光划片工艺原理及应用

摘要：

从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进行了总结和展望.

关键词：微水导激光、光液耦合、划切、微水柱、热熔效应、超薄晶圆、Low-K介质层、LED衬底

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2008-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：27-31,49