TDR系列晶体生长设备速度跑合系统

摘要：

主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点.本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求,提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市场的需要.

关键词：坩埚速度系统跑合、籽晶速度系统跑合、操作装置、检测报警装置、晶体生长设备

所属期刊栏目：37

分类号：TN806.9(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17