双段式加热锗单晶生长设备的结构设计

摘要：

锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料,锗单晶的生长广泛采用的是CZ(直拉)法,其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等.

关键词：锗单晶、双段式加热、单晶炉

所属期刊栏目：37

分类号：TN806.9(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14