NSR-1755i7A投影光刻机自动对准故障分析

摘要：

在半导体设备当中投影光刻机应是最为精密复杂的设备,其维修工作具有高度的技术性.论述了NSR1755i7A投影光刻机自动对准系统的工作原理,并分析了两例自动对准系统故障和排除故障的过程,最后提出对此类故障检查的一般原则.

关键词：分步重复、双频激光干涉、LSA

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3