基于串行通讯协议宏的MOCVD反应室压力控制

摘要：

介绍了MKS压力控制系统的组成、651C控制器的通信命令参数、串行通信协议宏的构造方法.

关键词：MOCVD、PLC、串行通信、协议宏、闭环控制、编程

所属期刊栏目：37

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41