全自动引线键合机相关键合工艺分析

摘要：

以全自动引线键合机之键合工艺为引导,介绍了全自动引线键合的结构组成,超声键合的键合过程,从理论上分析了焊接过程中的主要因素,得出焊接过程中的基本工艺参数,并结合键合过程初步探讨了这些基本工艺参数的调节方法.介绍了键合品质的检验和基于DOE试验设计的工艺优化方法.最后对最主要两种失效模式进行了理论上的初步分析.

关键词：引线键合、键合原理、工艺参数、失效分析

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.96(半导体技术)

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23