应用四连杆机构的粘片机键合头设计

摘要：

键合头为粘片机上的关键部件,需要精确、平稳地往返于拾片和粘片位置,实现芯片的拾取、传送和粘接等动作.分析了粘片机用键合头机构的作用及性能要求,介绍了曲柄摇杆机构在粘片机键合头设计上的应用.

关键词：键合头、粘片机、拾片、粘片、曲柄摇杆机构

所属期刊栏目：36

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-42,48