划片机工作台直线度的设计与实现

摘要：

依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度.依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法.

关键词：误差分析、精度分配、直线度、均化效应

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39