超声键合换能系统支承状态下导纳特性测量

摘要：

分析了无负载情况下肋环夹持装置和劈刀两个主要因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响情况.分析了压电换能器的等效电路,通过压电换能器的导纳圆图,确定换能器各参数的变化情况.

关键词：超声键合换能系统、等效电路、导纳、导纳圆

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.93(半导体技术)

在线出版日期：2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：26-31