电子工艺设备的热设计

摘要：

介绍了电子工艺设备热设计的基本要求、目的、传热的基本原则以及热量传递的基本方式.

关键词：电子工艺设备、热设计、热环境、热特性

所属期刊栏目：36

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2007-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：66-68