基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计

摘要：

根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输.介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序.

关键词：以太网、MOCVD、控制系统、FINS、通讯、PLC

所属期刊栏目：36

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：信息产业部电子信息产业发展资助项目信运部[2004]42号

在线出版日期：2007-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24