LED粘片机晶圆芯片供送系统分析

摘要：

分析了粘片机晶片工作台机构,对该工作台的运转灵敏度、平稳性和精度保持性进行分析计算,重点计算了工作台的最小位移分辨率和定位误差,实现其工艺要求.

关键词：芯片、工作台、精度、定位误差

所属期刊栏目：36

分类号：TM921.07

在线出版日期：2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25