诺发系统有限公司(NOVELLUS)在VECTOR EXPRESS平台上推出可灰化硬掩模工艺技术

摘要：

@@ 诺发系统有限公司日前宣布开始销售用于生产的在VECTOR ExpressTM等离子增强化学气相沉积(PECVD)平台上实现的可灰化硬掩模(AHM?)工艺技术,目前这项技术正在申请专利.

机标关键词：系统、平台、灰化、掩模、增强化学气相沉积、申请专利、工艺技术、等离子、销售、生产

所属期刊栏目：36

分类号：TN2;G64

在线出版日期：2007-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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