气压式管道清洗法

摘要：

在电子工业领域中,曝光显影是生产过程中的重要工序,显影废液的处理与再生对生产成本的控制及环境保护都是相当重要的环节.由于各类显影废液中含有多种化学成分,经常在传送过程中附着在管壁上,并造成流量下降乃至管道堵塞.根据具体使用情况,介绍了由上海松下等离子显示器有限公司新近推出的一套气压式管道清洗系统,该系统丰富了工业领域的管道清洗方法,尤其适用于清洗电子工业领域的显影液废液的处理及排放管道.

关键词：气压式、管道清洗、旋风式分离器、真空泵

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2007-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：57-59