10.3969/j.issn.1004-4507.2007.07.011
多晶硅铸锭炉加热室的设计
加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一.多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现.着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计.
多晶硅铸锭炉、加热室、石墨加热器、隔热层
36
TF063(一般性问题)
2007-09-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
36-39
10.3969/j.issn.1004-4507.2007.07.011
多晶硅铸锭炉、加热室、石墨加热器、隔热层
36
TF063(一般性问题)
2007-09-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
36-39
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn