半导体设备中的抗干扰技术

摘要：

简要分析半导体设备中干扰产生的原因、危害及一般抗干扰的原则;从干扰形成的三要素入手,重点介绍半导体设备设计、制造及维修中一些行之有效的抗干扰的方法.

关键词：干扰源、干扰途径、干扰易受体、抗干扰措施

所属期刊栏目：36

分类号：TN972

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43