适用于小型生产线运行的单晶圆清洗技术的实现

摘要：

利用臭氧消毒水和淡氟氢酸清洗技术,使设备生产厂家的单晶圆旋转清洗工艺适应向小型生产线转入的应用,从而使生产周期的缩短成为可能.

关键词：单晶圆清洗、小型生产线、湿法清洗、金属去除、表面污染控制

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：16-23