适用于200 mm太阳能电池片的闭管扩散/氧化系统设计

摘要：

介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备,着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制.

关键词：闭管扩散、太阳能、设备

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.4(半导体技术)

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-54