基于80C196KC的单晶炉等径控制系统设计

摘要：

等径生长控制系统是单晶炉上的重要组成部分,其性能对于单晶的生长至关重要.以80C196KC单片机作为控制系统的核心部件,采用PID算法以及其他的软硬件设计,实现了一整套单晶炉生长控制的设计方案.

关键词：单晶炉、80C196KC、等径控制

所属期刊栏目：36

分类号：TB304.05(工程材料学)

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52