硅芯炉托盘控制系统的设计与实现

摘要：

在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上,重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统,并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析.

关键词：多晶硅、硅芯炉、籽晶托盘、控制系统、单片机、Aduc812

所属期刊栏目：36

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48