划片机气静压电主轴热变形的有限元分析

摘要：

分析划片机气静压电主轴的发热和热传递;建立气静压电主轴的热-应力有限元分析模型,用ANSYS软件计算主轴的温度场分布及主轴的热变形值.根据计算结果,提出减小主轴热变形及消除热变形造成的加工误差的措施.

关键词：气静压电主轴、有限元分析、温度场、热变形

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：39-44,48