用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制

摘要：

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案.试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值.

关键词：光刻机、工件台、定位、研制

所属期刊栏目：36

分类号：TH161+.6

资助基金：国家自然科学基金委项目重大项目课题50390064;国家自然科学基金委与上海市科委联合资助项目

在线出版日期：2007-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：39-43,62