高速粘片机晶片工作台的电机选型计算与运动控制

摘要：

论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制.

关键词：高速粘片机、电机选型计算、运动控制技术、双反馈

所属期刊栏目：36

分类号：TM921

在线出版日期：2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：66-70