基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关

摘要：

RF MEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RF MEMS现有的缺陷.

关键词：射频微机械开关、单晶硅梁、静电驱动

所属期刊栏目：36

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2005AA404210;中国科学院微电子所所长基金

在线出版日期：2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：15-17,61