基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状

摘要：

非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景.

关键词：非制冷红外成像、MEMS、双材料微悬臂梁阵列、光学读出

所属期刊栏目：36

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2005AA404210

在线出版日期：2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9