自组装技术在MEMS中的应用

摘要：

起源于生物化学领域的自组装技术正被广泛地应用到了化学、材料、生物、电子、机械等不同的学科中.在MEMS和NEMS中,自组装作为一种新型的"自下而上"的微(纳)结构制备和装配技术而得到积极的关注,并显示出良好的应用前景.在阐述自组装技术发展的基础上,介绍了该技术在MEMS中的典型应用,讨论一些待解决的关键问题,最后展望了自组装技术的发展趋势.

关键词：MEMS、NEMS、自组装、微装配

所属期刊栏目：36

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5