图像处理在双面光刻机中的应用

摘要：

讨论了双面对准光刻机的底部对准原理,并着重介绍了图像处理在高精度光刻机中的应用.通过对采集到的标记图形进行图像分割和边缘定位,使标记的边缘精确定位在亚像素级.从实验的结果来看,这种方法能够对对准标记达到很好的边缘定位,提高了对准精度.

关键词：底面对准、图像处理、边缘检测

所属期刊栏目：35

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2007-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：57-60