线锯切割失效机理的研究

摘要：

通过对多线切割机切割工艺过程中失效机理的分析研究,提出了影响线锯切割失效的因素且分析了锯丝断线的主要原因和砂浆磨粒丧失切削力的过程,并提出了相应的预防改进措施.

关键词：多线切割机、拉断、疲劳断裂、磨粒、破碎

所属期刊栏目：35

分类号：TN30(半导体技术)

在线出版日期：2006-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-27