线性电机在高速粘片机芯片拾放机构中的应用

摘要：

论述了高速粘片机核心部件芯片拾放机构的工作原理以及美国SMAC线性电机的特性,采用线性电机驱动芯片拾放机构,实现了对芯片的高速、高精度和柔性拾放技术.

关键词：高速粘片机、线性电机、柔性拾放

所属期刊栏目：35

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2006-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：44-48,72